2024年3月28日消息，據國家知識產權局公告，長鑫存儲技術有限公司取得一項名為“濕法處理設備及其的控制方法、存儲介質和電子設備“，授權公告號CN113628986B，申請日期為2020年5月。

專利摘要顯示，本公開涉及半導體生產制造技術領域，提出了一種濕法處理設備及其的控制方法、存儲介質和電子設備，濕法處理設備包括第一通道、噴嘴、第二通道以及傳感器，噴嘴包括噴口，噴嘴與第一通道相連通；第二通道內用于形成負壓，第二通道包括開口，噴口位于第二通道內，開口位于噴口的下方；傳感器用于檢測噴嘴內是否有液體。濕法處理設備通過傳感器檢測噴嘴內是否有液體，并可以通過第二通道內形成的負壓將噴嘴內的液體吸走，以防噴嘴內的液體掉落，從而解決了現有技術的濕法刻蝕出現的液體偷滴問題。